美国IMPAC佳武自营旗舰店

 　　Advanced Energy 的 Navigator II FCi 通过精确的功率传输和调整来改进过程控制。高速匹配网络针对关键的、功率敏感的、持续时间短的等离子工艺步骤进行了优化。还支持传统上由基于真空电容器的匹配网络处理的传统较长步长和较宽调谐范围。通过高速调整，Navigator II FCi 提供了许多过程控制增强功能。